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紫外曝光、光刻领域

 

      

        汇博光学生产的大尺寸紫外光学薄膜器件主要用于紫外曝光机系统中,其中紫外反射镜采用线膨胀系数为(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做为基底,内表面精密数控加工成形,镀制多层硬质氧化物薄膜,产品具有光斑均匀性好、紫外反射率高、使用寿命长等特点,在PCB、平板显示、LED等行业有着广泛的应用。包括半导体、集成电路、LED、MEMS、TFT、生物器件和纳米科技等产业,其中紫外反射镜采用线膨胀系数为(3.3士0.1)×10-6/K的高硼硅玻璃做为基底,内表面精密数控加工成形,镀制多层硬质氧化物薄膜,产品具有光斑均匀性好、紫外反射率高、使用寿命长等特点。